熱式氣體質量流量控制器由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。常應用在真空、鍍膜、太陽能、半導體、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環保等各種儀器分析上。

　　一般造成質量流量控制器零點漂移的因素有許多，解決質量流量計零漂問題，首先要定期進行零點檢查和調整，二是需要和工藝配合來解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質微量流動也會導致質量流量控制器/質量流量計的零點漂移，出現這種漂移時，要關閉流量控制器或流量計前段的電磁閥（流量控制器不能當做截止閥來使用），使管道內處于零流狀態或在管道適當位置設置排氣口，消除管道內的壓力和氣流，從而達到消除零點漂移。如果是零點出現大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開各種閥門，全部排空氣體管路，防止設備或管路憋壓。

　　熱式氣體質量流量控制器和流量計會有零點漂移情況，零點漂移也就是管道中已經沒有介質流動但質量流量計仍顯示流量值。微小的零點漂移是不會影響傳感器的測量精度和數值的，但是如果是零點漂移較大或用戶在使用時，對零點漂移的數值有疑問，那么這時候如何解決漂移顯得非常重要。