當前位置：首頁 > 產品中心 > 科氏力質量流量控制器 > 科氏液體質量流量控制器 > 5911D4科氏液體質量流量控制器

科氏液體質量流量控制器

簡要描述：科氏液體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

產品型號：5911D4
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-05-28
訪問量：2260

產品咨詢聯系我們

詳細介紹

品牌	GRYLLS/格里爾斯	應用領域	環保,化工,能源,電子/電池

科氏液體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

科氏液體質量流量控制器5911D4主要技術指標

1	量程范圍	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM 　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM
2	準確度	±1%F.S ±0.5%F.S
3	線性	±0.5~1.5%F.S
4	重復精度	±0.2%F.S
5	響應時間	電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6	工作壓差	0.1~0.5MPa
7	耐壓	3MPa
8	工作環境溫度	0~70℃
9	數字量	RS485 MODBUS協議
10	模擬量	DC 0~5V ，4~20mA 可選
11	供電	DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
12	電氣連接	DB15
13	漏率	1×10\u001F-8SCCSH

產品咨詢

上一篇：數字質量流量控制器
下一篇：5951DD4格里爾斯科氏氣體流量控制器

產品分類

Product Category

科氏力質量流量控制器

科氏氣體流量控制器科氏液體質量流量控制器

查看全部

科氏液體質量流量控制器

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：