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當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 質(zhì)量流量控制器 > 氣體質(zhì)量流量控制器 > GRYLLS5900格里爾斯質(zhì)量流量控制器

格里爾斯質(zhì)量流量控制器

簡要描述:格里爾斯質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

  • 產(chǎn)品型號:GRYLLS5900
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-05-28
  • 訪  問  量:6553

詳細介紹

品牌GRYLLS/格里爾斯價格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類差壓式介質(zhì)分類氣體
產(chǎn)地類別進口應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,石油,電子/電池,綜合

 格里爾斯質(zhì)量流量控制器工作原理:

  氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司特別的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

注意:

  質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣標(biāo)定.

  質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

  標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度-----273.15K (0℃);

  氣壓-----101325 Pa (760mm Hg)

格里爾斯質(zhì)量流量控制器

 格里爾斯質(zhì)量流量控制器主要技術(shù)指標(biāo)

1

  量程范圍

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

2

  準(zhǔn)確度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

3

  線性

  ±0.5~1.5%F.S

4

  重復(fù)精度

  ±0.2%F.S

5

  響應(yīng)時間

  電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

6

  工作壓差

  0.1~0.5MPa

7

  耐壓

  3MPa

8

工作環(huán)境溫度

  0~70℃

9

  數(shù)字量

  RS485 MODBUS協(xié)議

10

  模擬量

  DC 0~5V ,4~20mA 可選

11

  供電

  DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA

12

  電氣連接

  DB15

13

  漏率

  1×10\u001F-8SCCSHe

14

  底座材質(zhì)

  316L不銹鋼

15

  密封材質(zhì)

  氟橡膠,丁晴橡膠,氯丁橡膠

16

  氣路接頭

  Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞



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