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數(shù)字質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。

格里爾斯數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。

高精度質(zhì)量流量控制器參數(shù) 0.5sccm – 6000 slm 全量程Grylls5950系列質(zhì)量流量控制器支持?jǐn)?shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶多功能觸摸顯示屏，亦可采用流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量，可以提供帶有可選配的多介質(zhì)/多量程的功能。

Grylls5900系列由質(zhì)量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成,它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。

數(shù)字量質(zhì)量流量控制器采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時(shí)，還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。 與熱式流量計(jì)不同，當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí)，GRYLLS-6600質(zhì)量流量控制器沒有附加的“比熱容”誤差 。所以，即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同，也不會(huì)影響測(cè)量精度。

數(shù)字式質(zhì)量流量控制器采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時(shí)，還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。 與熱式流量計(jì)不同，當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí)，GRYLLS-6600質(zhì)量流量控制器沒有附加的“比熱容”誤差 。所以，即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同，也不會(huì)影響測(cè)量精度。